environment environment 半導体関連事業

最先端の半導体製造工場や液体・特殊材料ガスなどの
充填工場における各種業務を展開しています。

●多岐に渡る用途に順応した液体・特殊材料ガスなどの自動供給装置、充填装置、蒸留装置などのシステム設計、ソフト開発、制御盤設計と製作
●供給装置の立上げ調整やメンテナンス
●各種設備の稼働状況やガス検知器などの警報の集約と監視を行う『総合防災システム』の提案からシステム構築
●『総合防災システム』に付属する監視盤、分電盤、ガス検知器架台などの設計、製作
●ガス検知器の設置やケーブル配線工事などの現地ユーティリティ工事
●機器更新、定期点検などの保全工事

実績

●特殊材料ガス、新用途液体材料供給装置
●オンサイト型高純度F2発生装置(HF電気分解式)
●液体材料充填装置、蒸留設備
●総合防災監視システム
●ガス漏洩検知システム
●各種システム制御盤製作

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